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USC干式清洗機主要用光電行業(yè)玻璃清洗;

技術(shù)參數(shù)：

PASSLINE             ：900±10mm

流動方向             ：從左至右1臺，從右至左1臺（面對操作面）

基板尺寸             ：370×470mm（寬度方向為370mm）

基板厚度             ：0.4～1.1mm

處理能力             ：24秒/片

外觀                 ：透明PVC板

設(shè)備機構(gòu)及性能：

工作臺：

工作平臺材質(zhì)    ：S45C。

玻璃基板定位    ：邊定位。

基板固定方式    ：真空吸附固定玻璃基板。

真空源          ：真空發(fā)生器。

真空臺面尺寸    ：348×466mm。

臺面平面精度    ：±0.02mm。

升降重復(fù)精度    ：±0.02mm

平臺驅(qū)動        ：伺服電機+精密滾珠絲桿。