USC干式清洗機主要用光電行業(yè)玻璃清洗; 技術(shù)參數(shù): PASSLINE :900±10mm 流動方向 :從左至右1臺,從右至左1臺(面對操作面) 基板尺寸 :370×470mm(寬度方向為370mm) 基板厚度 :0.4~1.1mm 處理能力 :24秒/片 外觀 :透明PVC板 設(shè)備機構(gòu)及性能: 工作臺: 工作平臺材質(zhì) :S45C。 玻璃基板定位 :邊定位。 基板固定方式 :真空吸附固定玻璃基板。 真空源 :真空發(fā)生器。 真空臺面尺寸 :348×466mm。 臺面平面精度 :±0.02mm。 升降重復(fù)精度 :±0.02mm 平臺驅(qū)動 :伺服電機+精密滾珠絲桿。 |